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FPDや太陽電池向けのスパッタリングターゲットやセラミック部品等の大型化が進む材料・部品のように、
FineSATシリーズの装置では対応できない大型の対象物の検査を大型スキャナと大型水槽を採用することで対応できるようにしたのがFS LINEです。
シングルプローブ用のFS LINEに加えて、シングルプローブとアレイプローブを併用することで大型品の検査時間を短縮できる FS LINE Hybrid も用意しています。
また、オプションとして筒状/円柱状の対象物の表面を検査するための回転台も用意しています。水槽やスキャナのサイズに関する相談もお気軽にお申し付けください。
| FS LINE | FS LINE Hybrid | |
| プローブ方式 | シングルプローブによるメカニカルスキャン方式 | メカニカルスキャンまたは、フェイズドアレイプローブによる電子スキャンの2方式対応 |
| ボンディング部の 検査時間例(*) |
約10分 | 1分30秒 （フェイズドアレイプローブによる電子スキャンでの測定） |
FS LINEは、高精度な測定とFineSATベースのユーザビリティで、安全性も重視しています。
FS LINE Hybridは、低周波領域のアレイプローブで高ダンピング化を図りました。 これによって、ターゲット材とバッキングプレートの接合検査とターゲット材内部のボイド検査が同時に実施できます。
さらに、シングルプローブでは検査が難しい端部のテーパ面も、斜角電子スキャンで可能です。
| 型式 | 新型装置 |
|---|---|
| 同時送受信数 | 最大32素子 |
| 対応素子数 | 最大128素子 |
| アレイ方向電子 フォーカス |
プログラマブル |
| 受信帯域 | 5, 10, 15MHｚ |
FS LINE Hybrid仕様(アレイ関係)
斜角電子スキャンビーム制御イメージ
| 有効走査範囲 |
|---|
| 750×800 |
| 1,550×2,000 |
| 4,000×2,000 |
有効走査範囲4,000×2,000の例
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