FS LINE | FS LINE Hybrid | |
プローブ方式 | シングルプローブによるメカニカルスキャン方式 | メカニカルスキャンまたは、フェイズドアレイプローブによる電子スキャンの2方式対応 |
ボンディング部の 検査時間例(*) |
約10分 | 1分30秒 (フェイズドアレイプローブによる電子スキャンでの測定) |
FS LINEは、高精度な測定とFineSATベースのユーザビリティで、安全性も重視しています。
FS LINE Hybridは、低周波領域のアレイプローブで高ダンピング化を図りました。 これによって、ターゲット材とバッキングプレートの接合検査とターゲット材内部のボイド検査が同時に実施できます。
さらに、シングルプローブでは検査が難しい端部のテーパ面も、斜角電子スキャンで可能です。
型式 | 新型装置 |
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同時送受信数 | 最大32素子 |
対応素子数 | 最大128素子 |
アレイ方向電子 フォーカス |
プログラマブル |
受信帯域 | 5, 10, 15MHz |
FS LINE Hybrid仕様(アレイ関係)
斜角電子スキャンビーム制御イメージ
有効走査範囲 |
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750×800 |
1,550×2,000 |
4,000×2,000 |
有効走査範囲4,000×2,000の例