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Hitachi

株式会社 日立パワーソリューションズ超音波映像装置・検査装置

概要

ES5100

電子スキャン方式高速超音波映像装置ES5100は、振動子を直線状に多数並べたアレイプローブを搭載し、フォーカスポイントを電子式に移動させることで半導体や電子部品、IGBTなどのパワーモジュール内部を高速で映像化する装置です。

映像表示スピードは、測定ピッチが同じであれば、シングルプローブのメカニカルスキャンによるフォーカスポイントの移動方式と比べて、高速表示が可能です。

画像
アレイプローブ(振動子面)

画像
電子スキャンイメージ

特長

電子スキャン方式では最大75MHz(公称周波数)の高周波を実現し、アレイプローブによるライン走査でハイスピード測定を可能とし、 被検体内部に発生した剥離、微小ボイドなどを短時間で映像化します。
例えば30mm角の被検体を200µmピッチでスキャンした場合、約4秒で測定が終了、深さ方向の平面画像(以下Cスコープ)を高速表示し、反射エコー強度の分布を確認することができます。また、リアルタイム断面像(以下Bスコープ)表示とともに波形表示(以下Aスコープ)で被検体内部状況の観察に威力を発揮します。

画面イメージ
Cスコープ表示例

画面イメージ
Aスコープ+Bスコープ表示例

機能

電子スキャン方式高速超音波映像装置ES5100シリーズは、電子スキャンならではの秒速測定によって、 走査と同時に確認できるリアルタイム画像表示と高精細な解析表示機能を備えています。

リアルタイム画像表示

リアルタイムA+Bスコープ表示
Aスコープ+Bスコープ表示

Cスコープ表示
Cスコープ表示

 

高精細な解析表示

マルチポイント波形表示
マルチポイント波形表示

サムネイル階層表示
サムネイル階層表示

3Dブロック表示
3Dブロック表示

3方向断面図(エコー高さ表示)
3方向断面図
(エコー高さ表示)

全波形取り込みモード
全波形取り込みモード

エコー高さ強調表示(オプション)
エコー高さ強調表示
(オプション)

局所水浸法*

局所水浸法
(mp4形式)

パワーモジュールなど全没水浸法の適用が難しい被検体にも対応可能な測定方法です。水との接触を極力減らすため、被検体に対して超音波アレイプローブを下方に配置し、そこに満たした水と被検体を接触させて測定します。

*
探傷面と探触子の間だけ局所的に水を介在させる測定方法。

仕様

※公称周波数と水距離の組合せについては、お問い合わせください。
プローブ 25MHz、50MHz、75MHz
スキャナ X,Y,Z軸駆動
水槽上下機構付き
収録・処理部 A,B,Cスコープ画像表示、
面積率、
任意Aスコープ表示 他
解析機能 自動焦点移動
評価用ゲート自動可変
3Dデータ表示 他
ワーク寸法 300mm×200mm×50mm以下

寸法図

寸法図

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