ページの本文へ

Hitachi

株式会社 日立パワーソリューションズ超音波映像装置・検査装置

FineSAT 7;

超音波映像装置FineSAT 7

「FineSAT Ⅲ」の機能を強化。微細化・多層化する半導体デバイス・電子部品の検出画像の高画質化に加え、透過法を用いた直径300mm (12インチ)ウェーハなどの大きなデバイスの一括検査を可能にした最新型です。

詳細を見る

FineSAT Ⅴ

超音波映像装置FineSAT Ⅴ

スキャナ最大走査速度が2,000mm/sで測定データ点数量を大幅にアップした装置です。

詳細を見る

FineSAT Ⅲ

超音波映像装置FineSAT Ⅲ

基本的な機能が充実したシングルプローブ専用装置ならではの高分解能に加え、高速化を図った装置です。

詳細を見る

FineSAT HR

超音波映像装置FineSAT HR

FineSATの機能はそのままに、分解能をさらに向上させた機種です。

詳細を見る

FineSAT Hybrid

超音波映像装置FineSAT Hybrid

高分解能なシングルプローブスキャンと、高速映像表示の電子スキャン方式を1台で実現した装置です。

詳細を見る

ES5100

電子スキャン方式 高速超音波映像装置
ES5100シリーズ

電子スキャン方式によってリアルタイムな映像表示が可能な、高スループットの装置です。

詳細を見る

WAFER LINE

超音波映像装置WAFER LINE

ウェーハ専用装置で、シングルプローブスキャンと電子スキャン方式があり、クリーンルーム対応も可能です。

詳細を見る