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Hitachi

株式会社 日立パワーソリューションズ超音波映像装置・検査装置

概要

欠陥検出画像の高画質化と大型ウェーハの一括検査で品質検査の精度を向上​

FineSAT 7画像

近年の欠陥検出画像の高画質化・高精度化および作業効率・生産性向上のニーズに対応するため、従来機「FineSAT Ⅲ」の機能を強化した最新機種が「FineSAT7」です。​
新たに自社開発したFPGA内蔵のADボード*1を搭載し、微細化・多層化する半導体デバイス・電子部品の内部構造や欠陥*2の検出画像を高画質化しました。加えて、測定水槽を大型化し、多層デバイスなど複雑形状の検査に用いられる透過法を用いた直径300mm (12インチ)ウェーハの一括検査を可能にし、作業効率の向上に貢献します。

*1
ADボード: アナログ信号をデジタル信号に変換する機能を持ったボード。
*2
接合部の剥離・ボイド(物体の中にある空気などの泡状の欠陥)やクラック(材料のひび割れ状の欠陥)など

デバイスの欠陥検出画像の高画質化と300mmウェーハの一括検査に貢献する超音波映像装置「FineSAT7」

特長

■ 自社開発したADボード採用で欠陥検出画像を高画質化

自社開発したFPGA内蔵のADボードを用いて、従来機よりサンプリング分解能を16倍、測定周期を2倍向上させたことで、高周波信号を観察しやすくします。 また、1画素の輝度に対して周囲8カ所から取得した超音波波形を足し合わせて平均化する技術*を用いて、電子回路の熱雑音などに起因して発生するランダムノイズを低減することで、欠陥検出画像を高画質化します。

■ 測定水槽の大型化で透過法を用いた直径300mm (12インチ)ウェーハの一括検査を実現​

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従来、透過法を用いた直径300mmウェーハの検査は、対象物を移動させながら半面ごとに実施する必要がありました。 FineSAT7では、装置内の機器配置の見直しによって検査対象物を測定する水槽を大型化し、超音波を送受信するプローブなどを含む測定機器の可動域を広げたことで、全層一括での検査を可能にしました。 また、測定水槽の大型化により、水槽内での検査対象物の移動や超音波の反射の原因となる気泡の除去などの作業性も向上しています。

■ 標準でSEMI規格に規定される安全規格に準拠

エレクトロニクス製造サプライチェーンの国際工業会SEMIが定める半導体製造装置の安全に関する規格に準拠しています。

*
超音波映像装置及び反射波のノイズ除去方法(特許出願中)​

機能

■ 高性能ADボード

400MHzプローブに対応した最大8GspsADボードを採用し、常時波形収録が可能となりました。
また、独自の論理回路を組み込むことにより、測定表示機能の高度化を行いました。

■ 進化したFineSAT7の解析ソフトウェア

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新たなADボード採用による、常時波形収録と14bit処理によって解析機能が充実。*1

  • リアルタイムBスコープ描画
  • エコー位相評価(剥離協調)機能のリアルタム性向上(高速化)​
  • フィルタ処理によるノイズ低減および特徴周波数による映像化
  • 全方位波形アベレージング処理によるノイズ低減、画質向上​
  • レンズエコーキャンセル機能により、レンズ有りプローブのレンズエコーを低減​
  • マルチゲートごとのゲイン調整(明るさ調整)​
  • 波形照合処理によるサンプル内部構造の高度解析

■ 最高速度1,200mm/s仕様のスキャナ*2 、高速処理PC

最高速度1,200mm/sスキャナおよび高速処理PCの採用により、常時波形収録においても従来機同等以上の高速測定が可能です。


■ 大型水槽

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  • 装置外形サイズをそのままに、大型水槽を採用しました。直径300mm (12インチ)ウェーハを反射法/透過法で一括測定が可能です。
  • JEDECトレイの透過法は、サンプル裏面の気泡除去ができる段取りエリアを設定し、作業性が向上します。

■ 操作性・メンテナンス性

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(上)23インチモニタ
(下)大型曲面モニタ

  • 装置前面下部に電気機器を設置したことにより、操作性・メンテナンス性が向上します。
  • 23インチワイドモニタを標準採用。また、オプションで23インチツインモニタや、大型曲面モニタにも対応します。​
*1
今後の開発項目も含みます。
*2
公称値

仕様

プローブ周波数(MHz) 5~400
有効ストローク(X×Y×Z) (mm) 350×350×80
最大走査速度(mm/s) 1,200 [公称値]
最大測定点数(点) 標準:4億
GUIPCオプション時:20億
外形寸法(W×H×D) (mm) 1,590×1,360×950(扉閉状態)
質量(kg) 約390
電源(電圧/電流/周波数) AC100~240V/6.25~15A/60Hz
特殊仕様についてはご相談ください。
  • 本製品は超音波の出力が5W以下のため、設置届出等の必要はありません。
  • 英語の言語版によるソフトウェアもご用意しています。

寸法図 (標準仕様)

(単位:mm)

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