(mp4形式)
【 標準タイプ 】
【 ワイドタイプ 】
高分解能と操作性で好評をいただいているFineSATに電子スキャン方式のES5100シリーズを組み合わせることで、 高速検査機能を追加したハイブリッドタイプの装置です。
従来は高速検査で発見した異常の詳細を調べるために、被検体を別の装置に移して再測定を行なっていましたが、
FineSAT Hybridでは被検体の移載作業をすることなく、1台で異常解析が可能です。
生産ラインの短期間での歩留まり向上を強力にサポートします。
標準タイプに加え、大型サンプルや複数サンプルの同時測定に対応した長ストロークのワイドタイプも、ラインナップしました。
シングルプローブ(左)とアレイプローブ(右)の
同時装着例
高精細測定であるシングルスキャン方式のシングルプローブと、高速な測定ができる電子スキャン方式のアレイプローブ両方が同時に装着可能です。
シングルプローブ／アレイプローブの切り替えは、プローブ選択画面からマウス操作で切り替えることができます。
アレイプローブを使用した測定は、シングルプローブの測定より約3〜10倍(*)のスピードで画像表示できます。
(*:当社比、測定条件による)
アレイプローブは、25、50、75MHzの中から導入時に選定いただきます。シングルプローブは機種により5〜300MHzのプローブがご利用いただけます。
アレイプローブによる高速測定後に、気になる部分をシングルプローブで測定、高精細な画像で解析評価するなど、業務の効率向上が図れます。
| FS100ⅢHy | FS200ⅢHy | FS300ⅢHy | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| シングルプローブ周波数範囲 (MHz) | 5〜75 | 5〜140 | 5〜300 | ||||
| アレイプローブ周波数 (MHz) | 25, 50, 75 | ||||||
| アレイプローブ素子数 | 25, 50MHz : 128 75MHz : 192 | ||||||
| アレイプローブ最大同時駆動励振数 | 16 | ||||||
| マルチゲート数 | シングルプローブ : 64 アレイプローブ : 2 | ||||||
| 有効ストローク(X×Y×Z) (mm) | 標準タイプ | ワイドタイプ | |||||
| シングル／アレイプローブ 単独装着時 |
350×350×80 | 660×600×150 | |||||
| シングル／アレイプローブ 併用装着時 |
295×350×80 | 600×600×150 | |||||
| 外形寸法 (W×H×D) (mm) | 2,000×1,340×940 | 2,520×1,700×1,500 | |||||
| 質量 (kg) | 約450 | 約1,100 | |||||
| 電源仕様 | AC100V/15A/ 50/60Hz | ||||||
