FS LINE/FS LINE Hybrid

像是FPD、針對太陽能電池的濺鍍靶材或陶瓷零件等越來越大型的材料、零件，FineSAT系列裝置無法對應的大型檢查對象，採用大型掃描器和大型水槽來對應的裝置便是FS LINE。
本公司也備有FS LINE Hybrid，此裝置是單焦點探頭用的FS LINE再加上同時使用單焦點探頭和陣列探頭，可以縮短檢查大型對象的時間。
此外，選配件也有為了檢察筒狀/圓柱狀對象表面的旋轉台。水槽或掃描器的尺寸也可以商量，敬請洽詢｡

FS LINE擁有清晰度的測量，且以FineSAT為基礎而操作方便，同時也注重安全性。

FS LINE Hybrid在低頻率的陣列探頭上實現了高阻尼化。 因此，靶材和背板的接合檢查，以及靶材內部的空洞檢查便能夠同時進行。