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【 標準型 】
【 寬廣型 】
因高解析度和操作方便而獲得好評的FineSAT，搭配電子掃描式的ES5100系列，是追加了高速檢查功能的混合型裝置。
過去，為了查詢高速檢查時發現的異常細節，要把檢測對象移到別的裝置進行第二次測量，但如果使用FineSAT Hybrid，就無須移動檢測對象，一台裝置就能進行異常分析。
能夠在短時間内提高生産綫的產量。
除了標準型之外，也有可以對應大型樣品或同時測量多個樣品的長行程寬廣型。
同時配備單晶探頭(左)和陣列探頭(右)的例子
可以同時配備高清晰度測量的單掃描式單焦點探頭，以及能進行高速測量的電子掃描式陣列探頭。
如要切換單晶探頭／陣列探頭，可以在探頭選擇畫面使用滑鼠操作來進行切換。
使用陣列探頭測量，就能以比單晶探頭測量約3～10倍(*)的速度顯示圖像。
(*:與本公司過去的產品比較；會因測量條件而異)
您可以在引進設備時從25、50、75MHz當中選擇陣列探頭。單焦點探頭則是根據機種可使用5～300MHz的探頭。
藉由陣列探頭進行高速測量後，將有問題的部分用單焦點探頭測量，並以高清晰度圖像進行分析和評估，就能成功提高業務效率。
| FS100ⅢHy | FS200ⅢHy | FS300ⅢHy | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 單焦點探頭頻率範圍 (MHz) | 5～75 | 5～140 | 5～300 | ||||
| 陣列探頭頻率 (MHz) | 25, 50, 75 | ||||||
| 陣列探頭元件數 | 25, 50MHz : 128 75MHz : 192 | ||||||
| 探頭元件數最大同時驅動振盪數 | 16 | ||||||
| 多閘門數 | 單焦點探頭 : 64 陣列探頭 : 2 | ||||||
| 有效行程(X×Y×Z) (mm) | 標準型 | 寬廣型 | |||||
| 單焦點／陣列探頭 單獨配備時 |
350×350×80 | 660×600×150 | |||||
| 單焦點／陣列探頭 同時配備時 |
295×350×80 | 600×600×150 | |||||
| 外型尺寸 (W×H×D) (mm) | 2,000×1,340×940 | 2,520×1,700×1,500 | |||||
| 質量 (kg) | 約450 | 約1,100 | |||||
| 電源規格 | AC100V/15A/ 50/60Hz | ||||||
