超聲波影像裝置FineSAT HR

以高解析度獲得高評價的FineSAT Ⅲ為基礎，更進一步提高了解析度。
為了提高解析度，提升了過去使用的超聲波頻率。 如果提高頻率，負面影響會增大，也就是在媒介中傳播時的衰減會增加，S/N比也會降低，所以在檢查用途方面實用的最高頻率為300MHz左右。
300MHz頻率的超聲波在最適當的條件下仍停留在5µm左右寬度的線形辨識，對於逐漸適用最新LSI封裝的TSV、銅柱凸塊等微小結構的檢查有可能不適用。
FineSAT HR正是開發了新型電氣迴路、提高了解析度，成功突破了這類超聲波檢查裝置極限的機種。