FineSAT Ⅴ
(照片中装备了选购件)
提供利用超声波的反射、穿透特性非破坏检测半导体、电子零部件内部的细微结构、缺陷并将其转换为图像的装置——“FineSAT 系列”。
为了应对近年来的需求高度化，强化以往机型“FineSAT Ⅲ”的功能，开发了能进行更高精度、更高速的测定、检查的“FineSAT Ⅴ”。
“FineSAT Ⅴ”将独自开发的数据处理软件、为高速处理大量数据而新采用的64bit处理系统和高速、高精度扫描仪组合在一起，缩短了检查、解析时间。
标准配置可最多保存、处理4亿点超声波测定的数据，选购配置*1时，可最多保存、处理20亿点超声波测定的数据。
这样，以往使用FineSAT Ⅲ时，对8英寸的晶圆进行1次测定并转换成图像时的最小测定间距为40 µm，而现在使用FineSAT Ⅴ，标准配置能以20 µm的微小间距取得数据并转换为图像，选购配置时，能以10 µm以下的微小间距取得数据并转换为图像，所以1次扫描就可完成大样品的详细测定。
另外，还可进行支持高精度解析、评价的多种图像显示。
测定晶圆等大样品时，扫描仪的扫描速度对测定时间的影响很大。 FineSAT Ⅴ除了采用高速扫描仪，还将超声波脉冲的发生周期降低到1/2，这样，测定时间缩短了25%*2。 除了加减速时，扫描仪的最大扫描速度提高到2,000mm/s*3，通过新设计的高刚性框架抑制装置的振动，所以高速扫描也能获得鲜明的图像。
采用的64bit处理系统，大幅强化解析功能。
能将超声波的测定时间单位设定为以往的1/4，所以深度方向的分辨率提高到了4倍。 不断细微化、多层化的电子装置的薄层内的缺陷、层间剥离的检测、深度位置信息的精度提高。
通过扫描时连续改变焦点位置的功能，1次测定就可获得对焦不同的多个深度的图像，所以能防止漏看缺陷。
对于通过多闸门测定的多个不同信息的图像，可生成缩略图，转换为容易选择的一览显示。
缩略图图像可单独变更调色板。
可重叠显示通过反射法/透射法同时测定取得的2个图像。另外，对于显示的图像，可调整透明度，所以可设定为容易判断的图像。
可与图像锐化软件（对超声波信号劣化进行补正，使图像更加鲜明）、体积图像软件（在测定后将收集的波形数据解析为测定图像和波形）、孔隙浏览器软件（显示孔隙(缺陷)后进行合格与否判定、统计处理）等高度的解析软件组合。
(mp4格式)
这种扫描方式可适于与不平整的弯曲晶圆、扭曲的被检体。
扫描时可追随被检体的表面。
| FSP8Ⅴ | FSP12Ⅴ | |
| 探头频率（MHz） | 5～200 | 5～300 |
| 最高频率（MHz） | 500 | |
| 有效行程（X×Y×Z） （mm） | 350×350×80 | |
| 最大扫描速度（mm/s） | 2,000 | |
| 最多测定点数（点） | 标准：4亿 GUIPC选购件时：20亿 |
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| 外形尺寸（W×H×D） （mm） | 1,590×1,300×940（门关闭状态） | |
| 质量（kg） | 約470 | |
| 电源（电压/电流/频率） | AC100V/15A/ 50/60Hz | |
（単位：mm）
