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Hitachi
通过1台设备实现高分辨率单探头扫描和高速影像显示的电子扫描。
在线晶圆自动检查装置。自动输送，自动测定，自动判定，满足客户的要求。
进一步提高分辨率。搭载超过超声波检查装置界限的电气回路。
提高解析功能的64bit系统。检查速度提高，时间缩短25%。
高性能超声波装置和高精度扫描仪的组合。同时用反射法和透射法测定
电子扫描方式独有的高速测量。

Scanning Acoustic Tomograph / Inspection Equipment - Product lineup

我司将参加于2026年12月9日至12月11日在**东京国际展示中心（Tokyo Big Sight)　new：最新

  • 展会名称：SEMICON Japan 2026
  • 展会日期：2026年12月9日至12月11日
  • 展馆 / 展位号：超声波影像装置FineSAT 系列
  • 活动网址：https://www.semiconjapan.org/en