超音波映像装置FineSAT HR

高分解能で定評があるFineSAT Ⅲをベースに、分解能をさらに向上させました。
高分解能化の取り組みとして従来から使用する超音波の周波数を上げることが行なわれてきました。 高周波数化は一方で伝搬する媒体中での減衰が大きくなってS/N比が低下するという弊害が大きくなるため、 検査用途には300MHz前後が実用的な最高周波数となっていました。
300MHzの周波数の超音波では、最適条件下では5µm前後の幅のラインパターンの認識に留まり、 最新LSIパッケージに適用されつつあるTSV、Cuピラー等の微細構造体の検査に対しては適用できないことがあります。
FineSAT HR は、このような超音波検査装置の限界を超えるために新しい電気回路を開発し、分解能を向上させることに成功した機種です。