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Hitachi

株式会社 日立パワーソリューションズ受託分析サービス一覧

サービスの概要

TDS(thermal desorption spectroscopy)は、試料を加熱した際に発生するガスを質量分析計で測定する分析方法です。
試料の加熱温度と発生したガスの成分や量との相関がわかるため、試料からの脱離ガスの様子や熱分解過程などを調べられます。

特長

試料から発生するガスの組成や量の分析が可能

減圧雰囲気で加熱した際に発生したガスを分析し、水素や水であれば10ngの量でも検出できます。
また、何度でどの程度ガスが発生するか分析できます。


TDSの外観


測定イメージ


処理方法が異なる試料の水素発生挙動の比較

適用分野

  • 半導体ウエハ、チップ
  • 液晶基板
  • 電極材料
  • ガス吸着懸念電子部品
  • 金属材料
  • 各種材料

事例

  • カーボン材料の脱離ガス成分定性・定量分析
  • 金属材料の水素発生挙動の比較分析
  • リチウムイオン電池電極の脱離ガス成分定性・定量分析

装置仕様

昇温脱離ガス分析装置(TDS)

電子科学株式会社社製 TDS-1200

加熱チャンバ

  • 内部容積:約7l
  • 排気速度:約300l/sec (TMP)
  • 加熱雰囲気:減圧状態(2.0×10-7Pa 以下)
  • 試料加熱方式:赤外線加熱
  • 最高加熱温度:1,200℃(ステージ内指示温度)
  • 昇温速度範囲:1〜100℃/min

試料

  • 試料サイズ:14mm×14mm×5mm(最大)
  • 適応試料:ウエハ、金属片、紛体、フィルム状

その他

  • 大気非暴露で試料の取扱いが可能
    (トランスファーベッセル使用)

質量分析計(四重極型質量分析計)

  • イオン化法:電子衝撃型(EI法)
  • 測定質量範囲 :m/z 1〜199