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社会・産業/超音波映像装置・検査装置

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超音波映像装置FineSATについての、よくあるご質問をご紹介します。

Q1.超音波映像装置FineSATで何ができますか?どのような用途がありますか?

超音波映像装置FineSATでは、物質中の剥離やボイドなどを非破壊で観察出来ます。 測定できる材料は、金属・セラミック・非金属・樹脂・ゴム・ガラスなどです。減衰の極めて大きなものや、物質内に超音波が散乱するような材料を持つもの、 積層構造をもつものなどでは、測定が出来ないことがあります。超音波映像装置FineSATを用いて、開発時の試作品の内部観察や、製造時の不良解析、 抜き取り検査、全数検査などに用いられています。半導体初めとする電子部品だけでなく、電子材料、自動車部品などの鋳物、溶接物、接合物、 表面処理材料などの検査に使用されています。

Q2.超音波映像装置FineSATの欠陥検出の原理、特徴はなんですか?

超音波映像装置FineSATは、物質内部からの超音波反射信号の強弱を(に色をつけて)映像化します。 対象内部の音響インピーダンスの変化で超音波が反射する原理を応用しているため、ごくわずかな隙間ギャップを検出することができます。

Q3. 超音波映像装置FineSATとX線検査装置の欠陥検出はどの様に違いますか?

X線検査装置は、X線の透過量の変化を映像化しております。 X線は、超音波では測定しずらい実装後のハンダボール内部のボイドなど、多層構造物内のボイド欠陥の検出や方位分解能の良し悪しで決まる ボンディングワイヤ-の流れ、内部構造の観察に優れています。
超音波は、物質の界面からの反射信号を画像化しますので、X線検査では検出されにくい樹脂中のボイドや、剥離欠陥の観察ができます。 また、それぞれの欠陥の深さ位置を測定できるのも超音波映像装置FineSATの特徴です。

Q4.超音波映像装置FineSATの測定は水を使わないとできませんか?

超音波の伝搬には、媒質が必ず必要です。超音波検査装置には水が最良の媒体として使われています。

Q5.サンプルの形状に制限が有りますか?

サンプルに対して垂直に超音波を入射する必要が有りますので、表面がフラット(板状)である事が最低条件となります。 (R部、段差部、凹凸部などは観察できない部位が発生します)

Q6.測定可能な最大試料サイズはどのくらいですか?

FineSATでは標準で350×350mmですが、より大きな水槽とスキャナをご用意することもできます。 大型ターゲット材の検査用として3.4m×4.5mの製作実績があります。当社営業までご相談ください。

Q7.サンプル測定の相談と実機を見学できますか?

当社テストルームがあります。 そこでサンプル測定も実施していますのでここからお申し込みください。

Q8.プローブは何を使用したら良いですか?

プローブの選択は、サンプルの大きさ・厚さ・表面荒さなどと欠陥の大きさ・位置・種類などによって、 最適なプローブの使用周波数と焦点距離は変化します。わからない場合は、当社にお問い合わせください。 また、さまざまな試料を測定される場合には、プローブは複数用意しておくのが理想的ですが、現実的には難しいと思われます。 お手持ちのプローブで測定できない場合は、当社営業にご相談ください。最適なプローブの選択をお手伝いさせていただきます。

Q9.ウェハの自動検査装置はどのようなものでしょうか?

貼り合わせウェハの接合面のボイドや剥離などの検査に用います。搬出入から判定まで自動で行うことができます。

Q10.超音波で剥離部分の厚さが定量的に解りますか?

超音波は剥離部上面で100%の反射しますので、剥離部の厚さを定量評価することはできません。

Q11.超音波映像装置FineSATの反射法で、剥離を診断する際の波形の見方について教えてください。

超音波が接合面で反射するとき、音響インピーダンスの高い物質から低い物質との界面で反射するときに位相が反転します。 音響インピーダンスの低い物質から高い物質との界面で反射する際には位相は反転しません。 当社の会員制サイトE-CLUBの中に「ATシリーズ基礎編」等に図示でご説明してますので、ご参照願います。

Q12.ゴム材の検査はできますか?

ゴムは超音波を通しにくい材料ですが、ゴムの厚さや欠陥の大きさによっては検査ができます。 サンプルテストも行えますので、当社営業にご相談ください。

Q13.多孔質のセラミックスは超音波で測定できますか?

多孔質のセラミックスの孔は、超音波が不規則に反射、散乱します。このため測定できないものがあります。 サンプルテストも行えますので、当社営業にご相談ください。

Q14.超音波映像装置FineSATの測定を行いたいが、測定の仕方が分からない。参考書や、その他のサポートについて紹介して欲しい。

当社の会員制サイトE-CLUBの中に「ATシリーズ基礎編」がありますのでご参考願います。 また、有償による測定指導や、当社での測定受託なども実施しております。当社営業へご相談ください。

Q15.E-CLUBに入会した場合の特典はなんですか?

会員制サイトE-CLUBでは、超音波に関する技術資料・最新情報を閲覧できます。 また、会員の方にセミナー開催や超音波映像装置FineSATをもっと使っていただくための機能紹介などの情報をメールマガジンで定期的にご連絡しています。 会員登録は無料ですので、是非ご活用ください。

超音波映像装置テストルームご利用案内

当社では、超音波映像装置のテストルームを東京・茨城・大阪・福岡に開設しています。 お客様からお預かりした製品のサンプルテストを行い、「この剥離やボイドは見えないか。」 「検査装置の導入を検討するため一度デモを見てみたい。」などのご質問に速やかにお応えします。 どうぞお気軽にご利用ください。

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