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社会・産業/超音波映像装置・検査装置

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概要

測定時間が最大25%*2短縮、超音波で半導体や電子部品を高精度・高速検査

FineSATX画像

FineSAT X
(写真はオプションを装備しています)

半導体・電子部品の内部の微細な構造や欠陥を超音波の反射・透過特性を利用して非破壊で検出・画像化する装置として「FineSAT シリーズ」を提供しています。
近年のニーズの高度化に対応するため、従来機「FineSAT V」の機能を強化し、より高精度・高速な測定や検査を可能とする「FineSAT X」を開発しました。
「FineSAT X」は、独自開発したデータ処理ソフトと、大量のデータを高速で処理するために新たに採用した64bit処理システムを高速・高精度スキャナと組み合わせることにより、検査・解析時間を短縮します。

特長

解析機能を高めた64bit処理システムを採用

標準仕様で最大4億点、オプション仕様*1の場合は最大20億点の超音波での測定データを保存・処理できるようになりました。 これによりFineSAT Vでは8インチのウェーハを1回の測定で画像化する場合の最小測定ピッチは40 µmでしたが、 FineSAT Xでは標準仕様で20 µm、オプション仕様の場合は10 µm以下の微小なピッチでデータを取得して画像化できるため、 大きいサンプルでの詳細測定が1回の走査で可能になりました。また高精度な解析・評価を支援する多種な画像表示が可能です。

スキャナの最大走査速度を2,000mm/sにアップ、検査時間を短縮

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ウェーハなどの大きいサンプルの測定では、スキャナの走査速度が測定時間に大きく影響します。 FineSAT Xは、高速スキャナの採用に加えて超音波パルスの発生周期を1/2にすることで測定時間は25%*2短縮します。 加減速時を除いたスキャナの最大走査速度2,000mm/s*3に向上、新設計の高剛性フレームによって装置の振動を抑制するため、高速走査でも鮮明な画像が得られます。

設置場所や作業性を考慮した装備

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  1. クリーンルームでの使用を考慮してスキャナの扉は跳ね上げ方式を採用すると共に、扉のオプションとして制電タイプの透明パネルも用意し、防じん性を高めています。
  2. サンプルのセッティングやメンテナンス時は、ステージ・フレーム脱着がスムースに行えるように、前面の下部窓は180°下に回転させて全開できます。
  3. 本体操作部は制電パネルを採用し、オペレータの静電気による影響を抑制します。
  4. 本体電源ONのみでリフタ昇降操作可能。FineSATソフトウェアを起動することなく動作します。
  5. 手元スイッチボックスを標準装備しています。従来、スキャナ内にあるプローブを動かす場合は、 モニタ画面にあるボタンをマウス操作するかキーボードを操作してプローブとモニタまたはキーボードを交互に目線移動させながら行っていました。 手元スイッチボックスを使えば目線を離すことなくプローブ位置の微調整ができます。
  6. モニタ画面サイズを23インチにして、データ解析などの視認性や作業性を大幅にアップ。
    オプションでツインモニタにできます。
*1
GUIPCがオプションの場合です。
*2
当社従来機比、条件によって変わります。
*3
測定条件によっては、最大走査速度が制限されることがあります。

機能

64bit処理システムを採用して解析機能を大幅に強化しています。
 

■ 高分解能波形表示

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超音波の測定時間単位を従来比1/4に設定できるため、深さ方向の分解能が4倍になりました。 微細・多層化が進む電子デバイスの薄い層内の欠陥や層間剥離の検出と、深さ位置情報の精度が向上します。

■ マルチフォーカス

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焦点位置を連続的に変えて走査する機能で、1回の測定で異なる複数の深さに焦点の合った画像を得ることが可能なため、欠陥の見落としを防止します。

■ マルチゲートサムネイル表示

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マルチゲートで測定した複数の異なる情報の画像は、サムネイルを生成して選択しやすい一覧表示にすることができます。
サムネイル画像は個別にカラーパレットを変更できます。

■ オーバーレイ表示(反射画像/透過画像の重ね合わせ)

反射法/透過法同時測定で取得した2画像を重ね合わせて表示することが可能です。また、表示画像は透過割合を調整できるため、判断しやすい画像に設定できます。
 

■ 画像鮮鋭化、ボリュームイメージ、ボイドビューワなどのソフトをオプションで用意

超音波信号の劣化を補い画像をより鮮明にする画像鮮鋭化ソフトや、収録波形データを測定後に測定画像と波形に解析できるボリュームイメージソフト、 ボイド(欠陥)表示から良否判定・統計処理するボイドビューワソフトなどの高度な解析ソフトとの組み合わせが可能です。

仕様

  FSP8X FSP12X
プローブ周波数(MHz) 5〜200 5〜300
最高周波数(MHz) 500
有効ストローク(X×Y×Z) (mm) 350×350×80
最大走査速度(mm/s) 2,000
最大測定点数(点) 標準:4億
GUIPCオプション時:20億
外形寸法(W×H×D) (mm) 1,590×1,300×940(扉閉状態)
質量(kg) 約470
電源(電圧/電流/周波数) AC100V/15A/ 50/60Hz
*
特殊仕様についてはご相談ください。
  • 本製品は超音波の出力が5W以下のため、設置届出等の必要はありません。
  • 英語の言語版によるソフトウェアもご用意しています。

寸法図 (標準仕様)

(単位:mm)

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