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社会・産業/超音波映像装置・検査装置

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概要

FineSAT_Hybrid 標準タイプ
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【 標準タイプ 】

FineSAT_Hybrid ワイドタイプ
【 ワイドタイプ 】

高分解能と操作性で好評をいただいているFineSATに電子スキャン方式のES5100シリーズを組み合わせることで、 高速検査機能を追加したハイブリッドタイプの装置です。

従来は高速検査で発見した異常の詳細を調べるために、被検体を別の装置に移して再測定を行なっていましたが、 FineSAT Hybridでは被検体の移載作業をすることなく、1台で異常解析が可能です。
生産ラインの短期間での歩留まり向上を強力にサポートします。
標準タイプに加え、大型サンプルや複数サンプルの同時測定に対応した長ストロークのワイドタイプも、ラインナップしました。

特長

■Twin Probe

高精細測定であるシングルスキャン方式のシングルプローブと、高速な測定ができる電子スキャン方式のアレイプローブ両方が同時に装着可能です。
シングルプローブ/アレイプローブの切り替えは、プローブ選択画面からマウス操作で切り替えることができます。

シングルプローブ(左)とアレイプローブ(右)の同時装着例
シングルプローブ(左)とアレイプローブ(右)の
同時装着例

■High Speed

アレイプローブを使用した測定は、シングルプローブの測定より約3〜10倍(*)のスピードで画像表示できます。
                (*:当社比、測定条件による)

■Combination

アレイプローブは、25、50、75MHzの中から導入時に選定いただきます。シングルプローブは機種により5〜300MHzのプローブがご利用いただけます。
アレイプローブによる高速測定後に、気になる部分をシングルプローブで測定、高精細な画像で解析評価するなど、業務の効率向上が図れます。

主な仕様

  FS100VHy FS200VHy FS300VHy
シングルプローブ周波数範囲  (MHz) 5〜75 5〜140 5〜300
アレイプローブ周波数  (MHz) 25, 50, 75
アレイプローブ素子数 25, 50MHz : 128    75MHz : 192
アレイプローブ最大同時駆動励振数 16
マルチゲート数 シングルプローブ : 64    アレイプローブ : 2
有効ストローク(X×Y×Z)  (mm) 標準タイプ ワイドタイプ
  シングル/アレイプローブ
          単独装着時
350×350×80 660×600×150
シングル/アレイプローブ
          併用装着時
295×350×80 600×600×150
外形寸法 (W×H×D)  (mm) 2,000×1,340×940 2,520×1,700×1,500
質量  (kg) 約450 約1,100
電源仕様 AC100V/15A/ 50/60Hz

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