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Hitachi

社会・産業/超音波映像装置・検査装置

電子スキャン方式高速超音波映像装置 ES5100シリーズ
概要・特長

アレイプローブ搭載、電子スキャン方式で秒速測定

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概要

電子スキャン方式高速超音波映像装置ES5100は、振動子を直線状に多数並べたアレイプローブを搭載し、フォーカスポイントを電子式に移動させることで半導体や電子部品、IGBTなどのパワーモジュール内部を高速で映像化する装置です。

映像表示スピードは、測定ピッチが同じであれば、シングルプローブのメカニカルスキャンによるフォーカスポイントの移動方式と比べて、高速表示が可能です。

ES5100

画面イメージ
(上)シングルプローブ
(下)走査イメージ     

画面イメージ
(上)アレイプローブ(振動子面)
(下)電子スキャンイメージ     

特長

電子スキャン方式では最大75MHz(公称周波数)の高周波を実現し、アレイプローブによるライン走査でハイスピード測定を可能とし、 被検体内部に発生した剥離、微小ボイドなどを短時間で映像化します。
例えば30mm角の被検体を200µmピッチでスキャンした場合、約4秒で測定が終了、深さ方向の平面画像(以下Cスコープ)を高速表示し、 反射エコー強度の分布を確認することができます。また、リアルタイム断面像(以下Bスコープ)表示とともに波形表示(以下Aスコープ)で 被検体内部状況の観察に威力を発揮します。

画面イメージ
Cスコープ表示例

画面イメージ
Aスコープ+Bスコープ表示例

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