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Hitachi

社会・産業/超音波映像装置・検査装置

株式会社 日立パワーソリューションズ

超音波映像装置・検査装置は、半導体や電子部品をはじめとする高度な製品の微小な内部欠陥を超音波を利用して非破壊で探し出して映像化する装置です。

日立パワーソリューションズの超音波映像装置・検査装置は、これまでの超音波検査では明瞭に見えなかった製品の微小な欠陥も映像化することに成功しました。その実力をご自身の目でご確認ください。

お客様の用途や検査対象物に適する製品ラインアップを標準機として用意しています。また、自動化や高速化、特殊用途への対応などのニーズにも対応いたしますので、ご相談ください。

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お知らせ

2017年2月24日
  • 2017年3月14日(火)〜16日(木) 中国上海で開催される「SEMICON China 2017」に出展します。 
  • 場所:上海新国際博覧センター Hall W5 5379
  • 関連URL:http://www.semiconchina.org
2016年12月1日
  • 2017年1月18日(水)〜1月20日(金)に東京ビッグサイトで開催される「ネプコンジャパン2017 第18回半導体パッケージング技術展」に出展します。
    西ホール W2-62
  • 関連URL:http://www.icp-expo.jp/
2016年5月11日
  • 2016年6月1日(水)〜3日(金) に東京ビッグサイトで開催される「2016マイクロエレクトロニクスショー “エクステック2016”」に出展します。
  • 関連URL:http://www.jpcashow.com/show2016/index.html
2015年10月13日
2015年4月8日
  • 新しい超音波映像装置FineSAT Vを掲載しました。

超音波映像装置・検査装置 製品ラインアップ

FineSAT X FineSAT X

スキャナ最大走査速度が2,000mm/sで
測定データ点数量を大幅にアップした
最新型です。

高分解能UP 高速測定UP 大容量データ

FineSAT FineSAT

基本的な機能が充実したシングルプローブ専用装置ならではの高分解能に加え、
高速化を図った装置です。

高分解能 高速測定

FineSAT   HR FineSAT   HR

FineSATの機能はそのままに、分解能をさらに向上させた機種です。
 

高分解能 高速測定 MOST FINE

FineSAT   Hybrid FineSAT   Hybrid

高分解能なシングルプローブスキャンと、高速映像表示の電子スキャン方式を1台で実現した装置です。

高分解能 高速測定 MOST FAST

本製品は超音波の出力が5W以下のため、設置届出等の必要はありません。
英語の言語版によるソフトウェアもご用意しています。

ES5100 ES5100

電子スキャン方式によってリアルタイムな映像表示が可能な、高スループットの装置です。
 

高速測定 大量検査 MOST FAST

WAFER   LINE WAFER   LINE

ウェーハ専用装置で、シングルプローブ
スキャンと電子スキャン方式があり、
クリーンルーム対応も可能です。

ウエハ専用 高速測定 クリーンルーム対応可

FS LINE FS LINE

FineSATシリーズ、ES5100では
検査できない大型被検体用装置です。

大型被写体 大量検査

FS   LINE   Hybrid FS   LINE   Hybrid

FS  LINEの高スループット対応型装置です。
 

大型被写体 大量検査 高速測定

アイコンについて

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